第二章 企業基本信息

2.1企業簡介

福建天甫電子材料有限公司是一家專注于半導體級電子化學材料研發、生產和銷售的高新技術企業。產品含半導體級和電子級氫氟酸、硫酸、氨水、氟化銨、鹽酸、雙氧水、硝酸等，復配型產品包含電子級銅(鋁)蝕刻液、TFT光阻剝離液等以及電子信息用關鍵半導體級電子材料。主要應用于高端半導體芯片制程的清洗、蝕刻、摻雜和沉淀等工藝。公司已與廈門聯芯、上海格科、福建晉華、廣東粵芯、泉州三安、蘇州和艦等建立了長期穩定的合作關系，產品的質量獲得客戶的高度認可。

公司是福建省級重點項目企業，具備研發新產品的能力，截止目前已授權發明專利54項，已授權的實用新型32項，共計86項知識產權。榮獲了第九、十屆中國“創新創業大賽”福建賽區三等獎、福建省專精特新中小企業、福建省創新型中小企業、龍巖市企業技術中心、龍巖市新材料新能源B庫企業等榮譽稱號。

2.3企業生產工藝

公司主導產品為半導體級電子氫氟酸（濃度49%），產品純度高達99.9999999999%（12N），躋身全球高純化學品G5等級的最高水平，可以滿足當前國內芯片制造最先進工藝制程的要求，屬于新材料領域前沿技術，具有良好的創新性。打破了巴斯夫等國際巨頭壟斷，對于解決我國芯片制造關鍵材料“卡脖子”問題、保障半導體產業安全可控具有重大意義。

電子級氫氟酸生產工藝流程說明如下：

① 原料槽內AHF（無水氫氟酸）經由輸送泵輸送至車間緩沖槽。控制液位70～80%。生產時，緩沖槽內AHF（無水氫氟酸）經由輸送泵輸送一定重量至投料槽內，投料槽內AHF（無水氫氟酸）再藉由重力通過緩沖塔進入計量槽中計量。計量槽內AHF（無水氫氟酸）以定量速率通過初級過濾器進入塔釜。控制塔釜液位70～80%。

② 在塔釜內通入50℃～60℃熱水，采用低溫蒸發方式，利用沸點高低不同去除陰、陽離子后得到高純度AHF（無水氫氟酸）氣體。

③ 打開純化塔氧化劑（氮、氟混合氣，氮80%、氟20%）入口閥，通入氧化劑與塔內AHF（無水氫氟酸）反應后得到高純度AHF（無水氫氟酸）。純化塔塔頂產出的高純度AHF。

④ （無水氫氟酸）氣體經冷凝器冷凝（5℃～15℃）后進入調配槽調濃。

⑤ 在調配槽內通入定量超純水，打開循環泵開始循環，調配槽控制溫度50℃～60℃。

⑥　調配完成后，透過輸送泵輸送至成品槽（成品槽設置重量模塊）儲存。

⑦　成品槽內產品再依據客戶不同需求，經高精密過濾后充填成各種不同包材。

具體工藝流程圖如下：

圖1-1 生產工藝流程圖

第七章 溫室氣體排放報告分析

7.1企業2024年度節能減排工作

（1）企業使用了低碳清潔太陽能以代替不可再生能源。，在廠房及倉庫屋頂安裝了光伏發電設備，太陽能屬于低碳清潔能源，實現了使用可再生能源替代不可再生能源。2024年光伏用電量56.19萬kWh，預計年減少二氧化碳排放量312.87 tCO₂；

（2）企業對蒸汽冷凝水進行余熱利用，冷凝水通過 50A管接至水箱高溫側，高溫側輸送至醋酸罐區用于罐體保溫，罐體保溫后繼續輸回水箱高溫側，水箱另一端低溫側輸送至 04一樓設備,用完后維續輸回至水箱低溫側,水箱低溫側通過鍋爐加熱后繼續產生 冷凝水重復循環利用。充分利用余熱的同時，還可節約天然氣的投入，減少污染物的產生。

7.2 2024年溫室氣體結果分析

福建天甫電子材料有限公司2024年溫室氣體排放總量8125.90t，其中，化石燃料燃燒排放1851.65 tCO?，凈購入電力排放6274.25 tCO?。

7.3 2025年節能減排的建議

福建天甫電子材料有限公司溫室氣體排放的結構分析，企業主要溫室氣體排放總要來源于凈購入的電力。2024年企業將加強用電管理，完善相關的節能減排制度，加強日常監督檢查工作，減少用能。

結合企業實際情況，企業在2025~2026年度有以下節能改造計劃：

1、積極規劃光伏發電系統二期，這一創舉措旨在繼續優化能源結構，提高可再生能源利用量，有效促進節能減排。

2、加強設備的運行維護，確保設備穩定運行，加強巡檢，發現隱患及時處理；

3、嚴格按照生產作業指導書和配方單中規定的分散/攪拌時間進行控制，防止分散和攪拌時間過長，造成能源浪費；

4、制定《綠色工廠持續提升方案》、《清潔文明生產管控方案》等培訓計劃，外聘專業講師，有針對性的開展專業“理論+實操”培訓，并進行培訓效果評價。

第八章 真實性聲明

本報告真實、可靠。如報告中的信息與實際情況不符，報告主體愿負相應的法律責任，并承擔由此產生的一切后果。特此聲明。

福建惠企通科技服務有限公司

2025年02月